飞秒激光微纳加工技术与应用
演讲课题：飞秒激光微纳加工技术与应用
演讲人：陈岐岱
演讲摘要：
基于蓝宝石和石英等硬脆材料的微纳光学元件具有常规光学元件无法比拟的光学成像和光束整形能力，能够大幅度简化光路结构，降低系统重量和尺寸，在航天、航空和激光技术等领域都有紧迫需求。然而，由于尺寸小，无法利用金刚石车床数控铣磨等技术进行加工，如何制备硬脆材料微纳光学元件已经成为一个国际难题。飞秒激光加工技术为解决上述问题提供了新的思路，其基本思想是利用超短激光脉冲聚焦的“焦点”与物质发生非线性相互作用，最小可在深亚波长至纳米尺度诱导光物理、光化学变化而改变使局部材料特性，进而通过计算机控制“焦点”图案化扫描，实现高精度三维微纳结构制备。我们通过引入柱透镜和相位掩模版的飞秒激光光场裁剪技术和干法刻蚀辅助的飞秒激光加工技术，有效提高了飞秒激光加工硬脆材料的表面质量和加工效率。制备得到了大面积亚波长光栅结构、蓝宝石基菲涅耳波带片和达曼光栅、折衍混合透镜和仿生复眼等系列高性能微纳光学元件。
